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 半導体製造装置を構成するパーツの耐薬品性や高純度性を目的としてフッ素樹脂成型品を採用しているが、機械強度が要求されるパーツには、フッ素樹脂単体の成型品が採用出来ませんでした。 |
パーツを樹脂製から金属製に変更し、その金属製パーツに耐薬品性及び高純度性に優れているフッ素樹脂コーティングによる被覆を提案しました。当社のフッ素樹脂コーティングを採用することによって ※耐薬品性及び高純度性は、半導体製造プロセスにより諸条件が異なりますので、ご相談の上、フッ素樹脂コーティングの仕様を選定させて頂きます。 |
 【実績】・半導体洗浄装置 ・ＣＭＰ装置 ・レジスト塗布乾燥装置 |
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